限位裝置及晶圓檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121199878.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214538018U 公開（公告）日 2021-10-29
申請公布號 CN214538018U 申請公布日 2021-10-29
分類號 G01D21/00（2006.01）I;G01D11/16（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鐘榮斌;郭向榮;袁波;郭靖;徐大超;張毓盛;張韶軒 申請（專利權(quán)）人 東莞安晟半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王雪莎
地址 523330廣東省東莞市石排鎮(zhèn)廟邊王石崗路22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種限位裝置及晶圓檢測設(shè)備，涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，該限位裝置包括徑向限位組件，徑向限位組件包括徑向限位座和徑向限位輪；徑向限位輪樞接于徑向限位座，徑向限位輪的外圓周面用于抵接于待限位圓盤的外圓周面。通過該限位裝置，緩解了現(xiàn)有技術(shù)中移動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置的中空圓盤轉(zhuǎn)動(dòng)不穩(wěn)定的技術(shù)問題，保證了晶圓可以穩(wěn)定放置于中空圓盤。