移動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置及晶圓檢測(cè)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121199808.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214749862U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN214749862U 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 謝越森;鐘榮斌;袁波;張毓盛;徐大超;郭靖;張韶軒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞安晟半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王雪莎
地址 523330廣東省東莞市石排鎮(zhèn)廟邊王石崗路22號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種移動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置及晶圓檢測(cè)設(shè)備，涉及晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，該移動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括支撐座、載盤(pán)和轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器；載盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)連接于支撐座，載盤(pán)設(shè)有通孔，通孔用于放置待檢測(cè)晶圓；轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器安裝于支撐座并與載盤(pán)傳動(dòng)連接，用于驅(qū)動(dòng)載盤(pán)繞其中心法線轉(zhuǎn)動(dòng)。通過(guò)該移動(dòng)旋轉(zhuǎn)裝置，緩解了現(xiàn)有技術(shù)中檢測(cè)設(shè)備的旋轉(zhuǎn)裝置不能同時(shí)顯露晶圓正反面的技術(shù)問(wèn)題，提高了晶圓的外觀檢測(cè)效率。