晶圓檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121199282.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214844892U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214844892U 申請公布日 2021-11-23
分類號 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭向榮;謝越森;袁波;張毓盛;徐大超;郭靖;張韶軒 申請（專利權(quán)）人 東莞安晟半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王雪莎
地址 523330廣東省東莞市石排鎮(zhèn)廟邊王石崗路22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種晶圓檢測設(shè)備，涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，該晶圓檢測設(shè)備包括機(jī)架、定位盤和外觀檢測裝置；定位盤安裝于機(jī)架，定位盤設(shè)有通孔，通孔用于放置待檢測晶圓；外觀檢測裝置設(shè)有兩組且均安裝于機(jī)架，各外觀檢測裝置包括外觀檢測單元，兩組外觀檢測單元分別位于通孔的兩端，用于檢測待檢測晶圓的相對表面的外觀。通過該晶圓檢測設(shè)備，緩解了現(xiàn)有技術(shù)中晶圓外觀檢測效率低下的技術(shù)問題，實現(xiàn)了對晶圓正反面外觀的同時檢測。