一種基于壓電薄膜的芯片化發(fā)聲器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111083702.7 申請日 -
公開(公告)號 CN113747327A 公開(公告)日 2021-12-03
申請公布號 CN113747327A 申請公布日 2021-12-03
分類號 H04R17/00(2006.01)I;H04R19/00(2006.01)I 分類 電通信技術;
發(fā)明人 李嵐碩 申請(專利權)人 廣州蜂鳥傳感科技有限公司
代理機構 成都聚蓉眾享知識產權代理有限公司 代理人 劉艷均
地址 510700廣東省廣州市黃埔區(qū)科豐路31號G2棟309/311房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于壓電薄膜的芯片化發(fā)聲器件,屬于壓電微機械發(fā)聲器技術領域,解決了現有技術中的發(fā)聲器件結構復雜導致功耗高、性能差的問題,本發(fā)明包括底部基板,底部基板上連接有核心芯片,底部基板上方連接有非金屬管殼,非金屬管殼上開設有出音孔,核心芯片包括由下至上依次連接的硅基底層、硅結構層和壓電材料層,壓電材料層上設置有壓電振膜,壓電振膜上連接有金屬激勵電極,金屬激勵電極的尺寸小于壓電振膜的尺寸,壓電振膜周圍的壓電材料層上開設有隔離槽,壓電材料層上還安裝有與金屬激勵電極連接的激勵電極焊盤,激勵電極焊盤旁還安裝有接地電極焊盤。本發(fā)明應用于受話器、揚聲器、蜂鳴器等發(fā)聲裝置的發(fā)聲器件。