一種壓電微機(jī)械換能器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110423696.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113042350A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113042350A 申請公布日 2021-06-29
分類號 B06B1/06;B06B1/10 分類 一般機(jī)械振動的發(fā)生或傳遞;
發(fā)明人 秦風(fēng);李慧 申請（專利權(quán)）人 廣州蜂鳥傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都聚蓉眾享知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉艷均
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)科豐路31號G2棟309/311房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種壓電微機(jī)械換能器，屬于換能器技術(shù)領(lǐng)域，解決了換能器由于采用多換能器組成陣列，導(dǎo)致器件體積較大、成本高的問題，本發(fā)明包括基底，基底包括底硅層和設(shè)置于底硅層上的埋氧層，埋氧層上方由下至上依次連接有頂硅層、底層金屬層、壓電材料層和頂層金屬層，底硅層和埋氧層處的基底中心位置設(shè)置有背部空腔，壓電材料層上形成與背部空腔形狀相同、尺寸大小相同、位置相對應(yīng)的振膜區(qū)域，振膜區(qū)域內(nèi)的壓電材料層包括安裝于外側(cè)的振膜外側(cè)電極，振膜外側(cè)電極內(nèi)部安裝有振膜內(nèi)側(cè)電極，振膜外側(cè)電極與振膜內(nèi)側(cè)電極之間設(shè)置有隔離溝槽。本發(fā)明通過隔離溝槽將振膜區(qū)域的電極分為內(nèi)側(cè)和外側(cè)，實現(xiàn)了單個換能器的高性能自發(fā)自收工作。