一種壓電微機(jī)械執(zhí)行器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110423690.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113135548A 公開（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN113135548A 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) B81B3/00;H01L41/09 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 秦風(fēng);李慧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州蜂鳥傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都聚蓉眾享知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉艷均
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)科豐路31號(hào)G2棟309/311房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種壓電微機(jī)械執(zhí)行器，屬于壓電微機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的壓電微機(jī)械執(zhí)行器在工作中輸出位移性能受限的問題，本發(fā)明包括基座，所述基座內(nèi)部連接有對(duì)稱的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)臺(tái)，所述兩個(gè)驅(qū)動(dòng)臺(tái)分別連接有兩彈簧梁，兩彈簧梁連接有同一位移臺(tái)，所述位移臺(tái)的底面上連接有質(zhì)量塊，位移臺(tái)與基座相對(duì)的兩側(cè)上開設(shè)有多個(gè)通氣槽，所述通氣槽相對(duì)的基座上連接有與通氣槽數(shù)量匹配的調(diào)節(jié)柱。本發(fā)明設(shè)計(jì)了質(zhì)量塊/位移臺(tái)、彈簧梁、驅(qū)動(dòng)臺(tái)為核心的三級(jí)位移放大機(jī)構(gòu)，提高了壓電微機(jī)械執(zhí)行器的輸出性能。