含硅偶聯(lián)劑的共聚物成膜樹脂及其193nm光刻膠

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200510040276.3 申請日 -
公開（公告）號 CN1320007C 公開（公告）日 2007-06-06
申請公布號 CN1320007C 申請公布日 2007-06-06
分類號 C08F220/14(2006.01);C08K5/541(2006.01);G03F7/00(2006.01) 分類 有機高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 沈吉;冉瑞成;莊學(xué)軍 申請（專利權(quán)）人 中愷投資有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 蘇州華飛微電子材料有限公司;中愷投資有限公司
地址 215011江蘇省蘇州市蘇州新區(qū)靈巖街16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種含硅偶聯(lián)劑的共聚物成膜樹脂及其193nm光刻膠，本發(fā)明在原來以甲基丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸四種甲基丙烯酸及其酯類共聚單體中引入了含硅的丙烯酸酯類偶聯(lián)劑，進行共聚制備成一種新的成膜樹脂。這種新的成膜樹脂由于含硅丙烯酸酯類偶聯(lián)劑單元的作用，增加了光刻膠與硅片之間的粘結(jié)性能。同時，也改善了抗干刻蝕的性能。