光刻膠成膜樹脂制備中的聚合物選擇水解方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN200510040392.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN1699431A | 公開(公告)日 | 2005-11-23 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN1699431A | 申請(qǐng)公布日 | 2005-11-23 |
分類號(hào) | C08F8/12;G03F7/00 | 分類 | 有機(jī)高分子化合物;其制備或化學(xué)加工;以其為基料的組合物; |
發(fā)明人 | 冉瑞成;沈吉;褚晟 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 中愷投資有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 蘇州華飛微電子材料有限公司;中愷投資有限公司 |
地址 | 215011江蘇省蘇州市蘇州新區(qū)靈巖街16號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種光刻膠成膜樹脂制備中的聚合物選擇水解方法,采用聚對(duì)乙酰氧基苯乙烯及其共聚物為原料,以醇、醚、烴類溶劑為介質(zhì),在20~150℃溫度范圍內(nèi),在催化劑幫助下進(jìn)行選擇水解反應(yīng),來制備聚對(duì)羥基苯乙烯及其共聚物,其特征在于:催化劑為高分子催化劑或高分子載體催化劑;所述高分子催化劑為聚苯乙烯磺酸型強(qiáng)酸性離子交換樹脂或季胺堿型強(qiáng)堿性離子交換樹脂;所述高分子載體催化劑為高分子載體路易斯酸(Lewis酸)催化劑。本發(fā)明采用合適有效的催化劑通過選擇性水解或醇解反應(yīng),來制備光刻膠成膜樹脂——聚對(duì)羥基苯乙烯及其共聚物,其特點(diǎn)是工藝簡單、轉(zhuǎn)化率可達(dá)98%以上、選擇性,從而達(dá)到更好的效果。 |
