光刻膠成膜樹脂制備中的聚合物選擇水解方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200510040392.5 申請日 -
公開（公告）號 CN1300187C 公開（公告）日 2007-02-14
申請公布號 CN1300187C 申請公布日 2007-02-14
分類號 C08F8/12(2006.01);G03F7/00(2006.01) 分類 有機高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 冉瑞成;沈吉;褚晟 申請（專利權(quán)）人 中愷投資有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 蘇州華飛微電子材料有限公司;中愷投資有限公司
地址 215011江蘇省蘇州市蘇州新區(qū)靈巖街16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光刻膠成膜樹脂制備中的聚合物選擇水解方法，采用聚對乙酰氧基苯乙烯及其共聚物為原料，以醇、醚、烴類溶劑為介質(zhì)，在20～150℃溫度范圍內(nèi)，在催化劑幫助下進行選擇水解反應(yīng)，來制備聚對羥基苯乙烯及其共聚物，其特征在于：催化劑為高分子催化劑或高分子載體催化劑；所述高分子催化劑為聚苯乙烯磺酸型強酸性離子交換樹脂或季胺堿型強堿性離子交換樹脂；所述高分子載體催化劑為高分子載體路易斯酸(Lewis酸)催化劑。本發(fā)明采用合適有效的催化劑通過選擇性水解或醇解反應(yīng)，來制備光刻膠成膜樹脂——聚對羥基苯乙烯及其共聚物，其特點是工藝簡單、轉(zhuǎn)化率可達(dá)98％以上、選擇性，從而達(dá)到更好的效果。