一種ALD背鈍化工藝中防止鋁舟劃傷的打磨工裝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | 2020206325807 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212399082U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212399082U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-26 |
| 分類號(hào) | B24B15/08(2006.01)I; | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 劉剛;李耕航 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 徐州谷陽(yáng)新能源科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京樂(lè)羽知行專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李玉平 |
| 地址 | 221300江蘇省徐州市邳州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)濱湖大道南香山路西 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)一種ALD背鈍化工藝中防止鋁舟劃傷的打磨工裝，包括載舟平臺(tái)桌，氣缸機(jī)構(gòu)，頂齒機(jī)構(gòu)，以及多片硅片；載舟平臺(tái)桌上設(shè)有用于固定鋁舟位置的限位件；載舟平臺(tái)桌下部的兩個(gè)側(cè)面分別設(shè)有一個(gè)用于支撐氣缸機(jī)構(gòu)的支撐件；氣缸機(jī)構(gòu)設(shè)在載舟平臺(tái)桌的桌面下方，氣缸和導(dǎo)桿的下端均固定在機(jī)構(gòu)底座上，機(jī)構(gòu)底座兩端分別設(shè)在兩個(gè)支撐件上，氣缸和導(dǎo)桿的上端均與頂齒機(jī)構(gòu)的下部連接，氣缸工作狀態(tài)下，上下往復(fù)式推動(dòng)頂齒機(jī)構(gòu)沿著導(dǎo)桿上下移動(dòng)；頂齒機(jī)構(gòu)的上部為梳齒狀頂齒，頂齒的每個(gè)齒槽用于插接一片硅片；鋁舟下方的桌面上設(shè)有與鋁舟對(duì)應(yīng)尺寸的桌孔，桌孔用于穿過(guò)頂齒。?? |
