一種ALD背鈍化工藝中防止鋁舟劃傷的打磨工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> 2020206325807 申請日 -
公開（公告）號 CN212399082U 公開（公告）日 2021-01-26
申請公布號 CN212399082U 申請公布日 2021-01-26
分類號 B24B15/08(2006.01)I; 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 劉剛;李耕航 申請（專利權(quán)）人 徐州谷陽新能源科技有限公司
代理機構(gòu) 南京樂羽知行專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李玉平
地址 221300江蘇省徐州市邳州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱湖大道南香山路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種ALD背鈍化工藝中防止鋁舟劃傷的打磨工裝，包括載舟平臺桌，氣缸機構(gòu)，頂齒機構(gòu)，以及多片硅片；載舟平臺桌上設(shè)有用于固定鋁舟位置的限位件；載舟平臺桌下部的兩個側(cè)面分別設(shè)有一個用于支撐氣缸機構(gòu)的支撐件；氣缸機構(gòu)設(shè)在載舟平臺桌的桌面下方，氣缸和導(dǎo)桿的下端均固定在機構(gòu)底座上，機構(gòu)底座兩端分別設(shè)在兩個支撐件上，氣缸和導(dǎo)桿的上端均與頂齒機構(gòu)的下部連接，氣缸工作狀態(tài)下，上下往復(fù)式推動頂齒機構(gòu)沿著導(dǎo)桿上下移動；頂齒機構(gòu)的上部為梳齒狀頂齒，頂齒的每個齒槽用于插接一片硅片；鋁舟下方的桌面上設(shè)有與鋁舟對應(yīng)尺寸的桌孔，桌孔用于穿過頂齒。??