一種銀的細(xì)微圖形化蝕刻方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010242731.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113463099A 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113463099A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) C23F1/30（2006.01）I;C23F1/02（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/18（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 盧虎賁;李珍;范海文;李弋舟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長沙韶光鉻版有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 馬強(qiáng)
地址 410129湖南省長沙市芙蓉區(qū)長榔路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種銀的細(xì)微圖形化蝕刻方法，包括拋光、清潔、鍍氧化膜/銀、旋涂光刻膠、分別用第1道的銀蝕刻液和第2道銀蝕刻液進(jìn)行蝕刻、經(jīng)去膠液清洗得到Ag金屬網(wǎng)格。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單，可以得到線徑小于5um的銀圖案，對(duì)銀的蝕刻均勻，圖形化線性度高，所得銀金屬網(wǎng)格附著好，網(wǎng)格不易發(fā)生漂移。