一種漫反射型標(biāo)定板及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010347388.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113560960A 公開（公告）日 2021-10-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113560960A 申請(qǐng)公布日 2021-10-29
分類號(hào) B24B1/00（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 鄧輝;陳保國;范海文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長沙韶光鉻版有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 馬強(qiáng);聶午陽
地址 410129湖南省長沙市芙蓉區(qū)長榔路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種漫反射型標(biāo)定板的制備方法，包括以下步驟：使用20%?60%DN95粒徑10微米以下的金剛砂溶液，對(duì)拋光片/原版玻璃的上表面和/或下表面研磨10?40min，得到第一研磨面，拋光片/原版玻璃的上表面為第一研磨面或平面；在拋光片/原版玻璃的上表面采用半導(dǎo)體掩模版圖形制作工藝流程加工制作圖形，依次進(jìn)行鍍膜、涂膠、光刻、顯影和腐蝕，制得金屬鉻層；進(jìn)行精密切割，尺寸精度為±0.05mm，本發(fā)明還公開了利用該方法制得的標(biāo)定板，本發(fā)明采用研磨工藝制作磨砂效果，滿足高平面度要求，砂粒精細(xì)并可控，反射率小于0.1%。