一種鉻版濕法清洗工藝干燥用異丙醇蒸汽回流裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110707598.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113418383B 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN113418383B 申請公布日 2022-05-17
分類號 F26B21/14（2006.01）I;F26B9/06（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 李珍;陳曦;李弋舟 申請（專利權(quán)）人 長沙韶光鉻版有限公司
代理機構(gòu) 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 410129 湖南省長沙市芙蓉區(qū)韶光社區(qū)長榔路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種鉻版濕法清洗工藝干燥用異丙醇蒸汽回流裝置，包括蒸汽干燥槽體與加熱板，所述加熱板安裝于蒸汽干燥槽體的底部，所述蒸汽干燥槽體的頂部開設(shè)有矩形開口，矩形開口長邊所對應(yīng)的兩側(cè)壁內(nèi)設(shè)有進(jìn)氣腔，進(jìn)氣腔的下端設(shè)有通孔與蒸汽干燥槽體內(nèi)腔相通，進(jìn)氣腔靠近蒸汽干燥槽體內(nèi)腔的側(cè)壁上端安裝有第一中空冷凝板，所述第一中空冷凝板的上下兩端分別設(shè)有第一排水管與第一進(jìn)水管，所述第一進(jìn)水管與第一排水管均貫穿蒸汽干燥槽體側(cè)壁，所述第一排水管的側(cè)壁上設(shè)有負(fù)壓支管；本發(fā)明提供的鉻版濕法清洗工藝干燥用異丙醇蒸汽回流裝置能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體基片干燥過程中IPA蒸汽的循環(huán)利用，減少IPA的損耗，具有客觀的經(jīng)濟效益，適宜進(jìn)一步推廣應(yīng)用。