一種透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010243190.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113470890A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113470890A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01B13/00（2006.01）I;H01B5/14（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 盧虎賁;李珍;范海文;李弋舟 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 長(zhǎng)沙韶光鉻版有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)沙正奇專(zhuān)利事務(wù)所有限責(zé)任公司 | 代理人 | 盧宏;胡凌云 |
| 地址 | 410129湖南省長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)長(zhǎng)榔路88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)及其制作方法，所述透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)具有基板和金屬網(wǎng)格；包括如下步驟：提供由玻璃或石英制成的基板；在所述基板的至少1個(gè)表面鍍金屬氧化物層；在所述金屬氧化物層的表面制作光刻膠層，然后對(duì)光刻膠層進(jìn)行刻蝕處理，使得光刻膠層內(nèi)形成與所述金屬網(wǎng)格匹配的凹槽；以所述金屬氧化物層為陰極，鍍層金屬為陽(yáng)極，電鍍，在金屬氧化物層的表面形成金屬網(wǎng)格；然后，去除剩余的光刻膠層，獲得透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)成品。本發(fā)明的工藝簡(jiǎn)單，無(wú)需金屬納米粒子等電鍍陰極材料，適合工業(yè)化生產(chǎn)，可以基于金屬氧化物和金屬網(wǎng)格得到更加優(yōu)化的透明導(dǎo)電薄膜結(jié)構(gòu)。 |
