一種單晶爐用拉晶系統(tǒng)中的力矩測速機組及驅(qū)動器
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201220178859.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN202643899U | 公開(公告)日 | 2013-01-02 |
申請公布號 | CN202643899U | 申請公布日 | 2013-01-02 |
分類號 | C30B15/20(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 李尚;杜端華;張杏元 | 申請(專利權(quán))人 | 北京敬業(yè)北低自動化設(shè)備有限公司 |
代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 100034 北京市西城區(qū)西什庫大街31號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型提供了一種高精度、寬調(diào)速、可靠性高、結(jié)構(gòu)簡單、成本低的單晶爐用拉晶系統(tǒng)中的力矩測速機組及驅(qū)動器,包括第一專用力矩測速機組、第二專用力矩測速機組;所述第一專用力矩測速機組和第二專用力矩測速機組上分別設(shè)有專用驅(qū)動器進行驅(qū)動,并分別通過減速器與拉晶機構(gòu)相連;所述第一專用力矩測速機組用于送料和收料,所述第二專用力矩測速機組用于拉晶。本實用新型的單晶爐用拉晶系統(tǒng)中的力矩測速機組及驅(qū)動器,具有更高的調(diào)控精度和調(diào)控范圍,節(jié)約成本28%以上,并且耗電量小,更加節(jié)能環(huán)保。 |
