一種安全防爆膜均勻?yàn)R射鍍膜裝置及該裝置加工的安全防爆膜

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821720484.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209537619U 公開（公告）日 2019-10-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN209537619U 申請(qǐng)公布日 2019-10-25
分類號(hào) C23C14/56（2006.01）I; C23C14/34（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宋仁祥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽省寧國(guó)市海偉電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥東信智谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 安徽省寧國(guó)市海偉電子有限公司
地址 242300 安徽省宣城市寧國(guó)市汪溪工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種安全防爆膜均勻?yàn)R射鍍膜裝置及該裝置加工的安全防爆膜，包括密封的矩形的殼體、送料輥和收料輥，所述殼體的內(nèi)部設(shè)置有陰極靶材、陽(yáng)極基片、進(jìn)氣圓盤和兩個(gè)輥道?？梢员３纸橘|(zhì)薄膜的平整性，從而在濺射鍍膜的過(guò)程中，鍍層可以保持均一性，在送料輥和收料輥在拉扯的情況下容易出現(xiàn)介質(zhì)受力不均勻，這里可以防止介質(zhì)由于張力的影響導(dǎo)致鍍層不均一的問(wèn)題。