一種用于Micro-LED芯片制備的曝光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122690820.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN216622961U 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號(hào) CN216622961U 申請公布日 2022-05-27
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 唐素敏;王勇文 申請（專利權(quán)）人 星源電子科技（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥信誠兆佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 518132廣東省深圳市光明區(qū)玉塘街道田寮社區(qū)禾屋山第四工業(yè)區(qū)第八棟辦公樓101/201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于Micro?LED芯片制備的曝光裝置，涉及生產(chǎn)輔助技術(shù)領(lǐng)域，針對現(xiàn)有的曝光不好的問題，現(xiàn)提出如下方案，其包括放置箱，所述放置箱內(nèi)固定連接有處理箱；氣泵，其固定連接在所述處理箱的一側(cè)，其輸出端延伸到處理箱內(nèi)，所述處理箱的一側(cè)固定連接有出氣管，所述氣泵的輸入端連接有與放置箱相連接的進(jìn)氣管；功能腔，其設(shè)置于放置箱內(nèi)，其底部固定連接有的反光板；燈源，其固定連接在所述反光板上，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可以在較為穩(wěn)定的環(huán)境下進(jìn)行曝光，保證曝光的穩(wěn)定，同時(shí)經(jīng)過多個(gè)零件的使用，方便曝光的過程，方便的過程，降低工作強(qiáng)度，減小長時(shí)間多個(gè)曝光的微小誤差。