MEMS諧振器的檢測電路

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121679883.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215728495U 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN215728495U 申請公布日 2022-02-01
分類號 G01R31/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉堯;凌方舟;蔣樂躍;丁希聰;林武 申請（專利權(quán)）人 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡理知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龐聰雅
地址 300450天津市自貿(mào)試驗區(qū)（空港經(jīng)濟(jì)區(qū)）西三道158號金融中心4-501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種MEMS諧振器的檢測電路。所述檢測電路包括：MEMS諧振器；電荷放大器，其輸出端輸出諧振感應(yīng)信號；整流器，用于將所述諧振感應(yīng)信號中的負(fù)值部分翻轉(zhuǎn)或斬斷得到整流后的諧振感應(yīng)信號；積分器，其被配置的以設(shè)定積分時間為周期對整流后的諧振感應(yīng)信號進(jìn)行積分；采樣電路，采樣所述積分器的輸出得到積分采樣值；比較器，其得到數(shù)字方波信號；計數(shù)器，其以數(shù)字方波信號的預(yù)定跳變沿為觸發(fā)信號進(jìn)行計數(shù)，單位時間的計數(shù)值記為N1；處理單元，其根據(jù)計數(shù)值N1和單位時間計算獲得自然諧振頻率F0，根據(jù)自然諧振頻率F0、積分采樣值計算獲得品質(zhì)因子Q。這樣，可以快速的、準(zhǔn)確的對MEMS諧振器的諧振頻率和品質(zhì)因子進(jìn)行測量。