一種雙軸微機械系統(tǒng)換能器結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121926132.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215711763U 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN215711763U 申請公布日 2022-02-01
分類號 B81B3/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術〔7〕;
發(fā)明人 蘇云鵬;凌方舟;蔣樂躍;丁希聰 申請（專利權(quán)）人 美新半導體（天津）有限公司
代理機構(gòu) 蘇州簡理知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龐聰雅
地址 300450天津市自貿(mào)試驗區(qū)（空港經(jīng)濟區(qū)）西三道158號金融中心4-501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實新型提供一種雙軸微機械系統(tǒng)換能器結(jié)構(gòu)，其包括：固定基板；可移動基板，其懸置于固定基板上方；多個第一錨定結(jié)構(gòu)，其設置于可移動基板的外側(cè)；多組折疊梁，其設置于可移動基板的外側(cè)，且每組折疊梁均包括相互垂直正交的第一折疊梁和第二折疊梁，第一折疊梁和第二折疊梁均連接可移動基板和對應的第一錨定結(jié)構(gòu)；多個第二錨定結(jié)構(gòu)，其設置于可移動基板的外側(cè)；多個梳齒電容元件，其設置于可移動基板和第二錨定結(jié)構(gòu)之間，梳齒電容元件包括成叉指狀排布的可動梳齒和固定梳齒，其可動梳齒與可移動基板連接，其固定梳齒與對應的第二錨定結(jié)構(gòu)連接。與現(xiàn)有技術相比，本實新型具有集成度高、正交誤差小的優(yōu)點。