MEMS陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111088562.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113804171A 公開（公告）日 2021-12-17
申請公布號 CN113804171A 申請公布日 2021-12-17
分類號 G01C19/5755（2012.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 凌方舟;丁希聰;劉堯;蔣樂躍 申請（專利權(quán)）人 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡理知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龐聰雅
地址 300450天津市自貿(mào)試驗區(qū)（空港經(jīng)濟(jì)區(qū)）西三道158號金融中心4-501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種MEMS陀螺儀，其包括：驅(qū)動質(zhì)量塊；驅(qū)動電極；檢測質(zhì)量塊；位于所述檢測質(zhì)量塊下方的檢測電極；耦接于所述驅(qū)動質(zhì)量塊上的第一補(bǔ)償梁；耦接于所述第一補(bǔ)償梁和所述檢測質(zhì)量塊之間的第二補(bǔ)償梁；耦接于所述第一補(bǔ)償梁上的至少一對補(bǔ)償質(zhì)量塊，其中每對補(bǔ)償質(zhì)量塊中的第一補(bǔ)償質(zhì)量塊位于所述第一補(bǔ)償梁的一側(cè)，每對補(bǔ)償質(zhì)量塊中的第二補(bǔ)償質(zhì)量塊位于所述第一補(bǔ)償梁的另一側(cè)；位于所述至少一對補(bǔ)償質(zhì)量塊下方的至少一對補(bǔ)償電極，通過在所述至少一對補(bǔ)償電極上施加電信號，以進(jìn)行誤差補(bǔ)償。