多軸集成的微機(jī)電系統(tǒng)慣性器件測(cè)試裝置、系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111546828.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114152271A 公開（公告）日 2022-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114152271A 申請(qǐng)公布日 2022-03-08
分類號(hào) G01C25/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 林武;柯亮;李妍君;儲(chǔ)莉玲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡(jiǎn)理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龐聰雅
地址 300450天津市自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)（空港經(jīng)濟(jì)區(qū)）西三道158號(hào)金融中心4-501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多軸集成的微機(jī)電系統(tǒng)慣性器件測(cè)試裝置、系統(tǒng)及方法，其中，多軸集成的微機(jī)電系統(tǒng)慣性器件測(cè)試裝置包括：磁場(chǎng)產(chǎn)生器，其受控在預(yù)定空間產(chǎn)生磁場(chǎng)H；兩軸轉(zhuǎn)臺(tái)，其放置于所述預(yù)定空間內(nèi)，所述兩軸轉(zhuǎn)臺(tái)包括轉(zhuǎn)盤、第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸，其中，所述轉(zhuǎn)盤固定于所述第一轉(zhuǎn)軸的一端，所述第二轉(zhuǎn)軸與所述第一轉(zhuǎn)軸正交，所述第一轉(zhuǎn)軸受控轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤同步轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第二轉(zhuǎn)軸受控轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)所述第一轉(zhuǎn)軸和所述轉(zhuǎn)盤以所述第二轉(zhuǎn)軸為中心軸同步周向運(yùn)動(dòng)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)多軸（例如九軸）集成MEMS慣性器件的高效可靠量產(chǎn)測(cè)試。