微機(jī)電系統(tǒng)慣性器件的慣性測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111177140.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113800467A 公開（公告）日 2021-12-17
申請公布號 CN113800467A 申請公布日 2021-12-17
分類號 B81C99/00（2010.01）I;G01P21/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 柯亮;林武;李妍君;金羊華 申請（專利權(quán)）人 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡理知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龐聰雅
地址 300450天津市自貿(mào)試驗區(qū)（空港經(jīng)濟(jì)區(qū)）西三道158號金融中心4-501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種微機(jī)電系統(tǒng)器件的慣性測試裝置，其包括：離心機(jī)，其包括離心機(jī)轉(zhuǎn)軸和離心機(jī)樣品臺，離心機(jī)轉(zhuǎn)軸受控轉(zhuǎn)動；離心機(jī)樣品臺固定于離心機(jī)轉(zhuǎn)軸的一端；三軸定位基座，其固定于離心機(jī)樣品臺上；測試板，其用于放置參考慣性器件和若干待測微機(jī)電系統(tǒng)慣性器件，測試板可拆卸的固定于三軸定位基座的不同面，以實現(xiàn)對放置于所述測試板上的慣性器件在三個軸上運(yùn)動方向的切換；上位機(jī)，其與離心機(jī)通信連接，以控制離心機(jī)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動；上位機(jī)與測試板通信連接，當(dāng)離心機(jī)轉(zhuǎn)軸受控轉(zhuǎn)動時，參考慣性器件和若干待測微機(jī)電系統(tǒng)慣性器件輸出實際測量的加速度數(shù)據(jù)至上位機(jī)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明可以對微機(jī)電系統(tǒng)慣性器件進(jìn)行高精度、高效率的的測試。