納米硅超高速開關管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN03221563.0 申請日 -
公開（公告）號 CN2622868Y 公開（公告）日 2004-06-30
申請公布號 CN2622868Y 申請公布日 2004-06-30
分類號 H01L29/861 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 何宇良;王因生 申請（專利權(quán)）人 江蘇省威孚納米科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫市大為專利事務所 代理人 曹祖良
地址 210042江蘇省南京市鎖金二村21幢404室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 納米硅超高速開關管，是以低電阻率單晶硅為基片，其上方沉積一層摻雜納米硅薄膜，構(gòu)成納米硅/單晶硅異質(zhì)結(jié)構(gòu)。該納米硅超高速開關管具有優(yōu)越的伏—安特性，擊穿電壓Vb可達120伏，反向漏電流Ir僅為(nA)量級。具有極好的溫度穩(wěn)定性，可在接近250℃溫度范圍內(nèi)使用。反向開關時間tr不大于1.0納秒(nS)。納米硅/單晶硅異質(zhì)結(jié)構(gòu)內(nèi)的電輸運是以量子隧穿機制為主，且服從陡變結(jié)電容公式。最后在管芯表面使用ASFPT鈍化保護技術對管芯進行鈍化保護。