一種細胞計數(shù)板等離子化學(xué)氣相沉積納米膜的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010028125.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111020535A 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號 CN111020535A 申請公布日 2020-04-17
分類號 C23C16/513;C23C16/02 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 呂偉桃;梁宸 申請（專利權(quán)）人 佛山市思博?？萍加邢薰?/a>
代理機構(gòu) 佛山市禾才知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 佛山市思博睿科技有限公司
地址 528051 廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)羅村朗沙廣東新光源產(chǎn)業(yè)基地核心園區(qū)內(nèi)C區(qū)7座第五層（1-6軸）廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種細胞計數(shù)板等離子化學(xué)氣相沉積納米膜的制備方法，包括以下步驟：(1)、前處理，對細胞計數(shù)板進行前處理；(2)、等離子氣體活化處理，在反應(yīng)腔內(nèi)，等離子活化氣體對清潔后的細胞計數(shù)板進行處理；(3)、靜態(tài)鍍膜，將汽化的鍍膜材料通入反應(yīng)腔，所述鍍膜材料為疏水材料或親水材料，持續(xù)通入10s后關(guān)閉反應(yīng)腔進出口，開始靜態(tài)鍍膜過程，維持此靜態(tài)過程1?3min，之后再次通入汽化的鍍膜材料，重復(fù)上述操作3?5次；(4)、凈化，反應(yīng)腔內(nèi)破真空；(5)、后處理，將反應(yīng)腔中的鍍有納米膜的細胞計數(shù)板取出，進行密封包裝處理。本發(fā)明具有膜層質(zhì)量好、能耗小、生產(chǎn)效率高、節(jié)省鍍膜材料的優(yōu)點。