一種差分電容式壓力傳感器及其用以精確測量管道流體壓力的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111521310.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114199421A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114199421A 申請公布日 2022-03-18
分類號 G01L1/14（2006.01）I;G01L25/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊宗凌;韓瑜;彭曉勇 申請（專利權(quán)）人 上汽大眾汽車有限公司
代理機構(gòu) 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 郭蔚
地址 201805上海市嘉定區(qū)安亭鎮(zhèn)于田路123號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種差分電容式壓力傳感器，包括：測量電容，包括基座電極和感應(yīng)電極；保護電極，環(huán)繞測量電容設(shè)置，在測量電容和保護電極之間包括密封空氣腔；參考電容，設(shè)置在測量電容和保護電極之間。本發(fā)明還提供了一種利用該壓力傳感器精確測量管道流體壓力的方法，包括：獲得測量電容的電容變化量ΔC；獲得測量電容的電容值C1和參考電容的電容值C2；設(shè)定測量電容的電容值C1和參考電容的電容值C2的差分容值Cin等于測量電容的電容變化量ΔC；將差分電容值Cin轉(zhuǎn)換為電壓Vin；對轉(zhuǎn)換電壓Vin進行補償和校準(zhǔn)并輸出。本發(fā)明消除了因兩電極之間密封空氣介電常數(shù)的變化所造成的電容量漂移影響，減小了測量誤差，提高了測量精度。