一種黑膜窄帶濾光片及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010440566.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN111736250A 公開(kāi)(公告)日 2020-10-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN111736250A 申請(qǐng)公布日 2020-10-02
分類號(hào) G02B5/28(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陸張武;王迎;柴建龍;李恭劍;徐征馳 申請(qǐng)(專利權(quán))人 浙江晶馳光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張海兵
地址 318001浙江省臺(tái)州市椒江區(qū)開(kāi)發(fā)大道東段2198號(hào)一期聯(lián)合廠房3樓-A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種黑膜窄帶濾光片及其制備方法,屬于鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。濾光片包括玻璃基底、設(shè)于玻璃基底一側(cè)的窄帶通膜系、以及設(shè)于玻璃基底另一側(cè)的長(zhǎng)波通膜系;長(zhǎng)波通膜系包括從下往上逐層交替沉積的氫氧化硅/氮?dú)浠枘雍脱趸枘樱徽瓗は蛋◤南峦现饘咏惶娉练e的氧化硅膜層和氫氧化硅/氮?dú)浠枘?。方法包括:采用磁控濺射方法在玻璃基底一側(cè)沉積上述長(zhǎng)波通膜系,并在玻璃基底另一側(cè)沉積上述窄帶通膜系。本發(fā)明在入射角為0°時(shí),934?962nm譜段具有高透過(guò)率,在350?901nm譜段、1000?1100nm譜段截止;入射角為30°時(shí),925?951nm譜段具有高透過(guò)率;同時(shí)窄帶面在入射角為6°時(shí),反射在400?700波段平均反射低于5%。??