一種中紅外透過濾光片及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010506374.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111736251A 公開（公告）日 2020-10-02
申請公布號 CN111736251A 申請公布日 2020-10-02
分類號 G02B5/28(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陸張武;徐征馳;王迎;李恭劍 申請（專利權(quán)）人 浙江晶馳光電科技有限公司
代理機構(gòu) 浙江千克知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張海兵
地址 318001浙江省臺州市椒江區(qū)開發(fā)大道東段2198號一期聯(lián)合廠房3樓-A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種中紅外透過濾光片及其制備方法，屬于鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。濾光片包括玻璃基底、設(shè)于玻璃基底一側(cè)的窄帶通膜系、以及設(shè)于玻璃基底另一側(cè)的長波通膜系；窄帶通膜系包括逐層交替沉積的氫氧化硅/氮氫化硅膜層和氧化硅膜層；長波通膜系包括逐層交替沉積的氫氧化硅/氮氫化硅膜層和氧化硅膜層。方法包括：采用磁控濺射方法在玻璃基底一側(cè)沉積上述窄帶通膜系并在玻璃基底另一側(cè)沉積上述長波通膜系。本發(fā)明濾光片可在1300?1400nm譜段具有高透過率，同時在350?1280nm譜段、1420?1800nm譜段截止。??