一種射頻電源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921495212.6 申請日 -
公開（公告）號 CN210380678U 公開（公告）日 2020-04-21
申請公布號 CN210380678U 申請公布日 2020-04-21
分類號 H02M7/04;H02M3/335;H02M1/12;G01K7/00;G01K13/00 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 樂衛(wèi)平;張桂東 申請（專利權(quán)）人 深圳市恒運昌真空技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 高勇
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道鐵崗社區(qū)桃花源智創(chuàng)小鎮(zhèn)功能配套區(qū)B棟101，201，301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種射頻電源，該射頻電源中，在對功率調(diào)整及阻抗匹配模塊輸出的射頻交流電進行采集時，充分考慮到環(huán)境溫度對采樣的影響，從而設置了恒溫采樣電路，恒溫采樣電路將其所處的環(huán)境溫度保持在預設溫度范圍內(nèi)，并采集射頻交流電，以便后續(xù)根據(jù)該射頻交流電調(diào)整輸出至負載的射頻交流電，從而盡量減小甚至避免了環(huán)境溫度對射頻交流電的影響，提高了射頻交流電的采集精度，也提高了射頻電源的輸出電源的精度，減少了射頻電源的輸出電源的調(diào)整時間。