一種射頻電源

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910844168.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110460246A 公開（公告）日 2019-11-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN110460246A 申請(qǐng)公布日 2019-11-15
分類號(hào) H02M7/04;H02M3/335;H02M1/12;G01K7/00;G01K13/00 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 樂衛(wèi)平;張桂東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市百世達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司;深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道鐵崗社區(qū)桃花源智創(chuàng)小鎮(zhèn)功能配套區(qū)B棟101，201，301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種射頻電源，該射頻電源中，在對(duì)功率調(diào)整及阻抗匹配模塊輸出的射頻交流電進(jìn)行采集時(shí)，充分考慮到環(huán)境溫度對(duì)采樣的影響，從而設(shè)置了恒溫采樣電路，恒溫采樣電路將其所處的環(huán)境溫度保持在預(yù)設(shè)溫度范圍內(nèi)，并采集射頻交流電，以便后續(xù)根據(jù)該射頻交流電調(diào)整輸出至負(fù)載的射頻交流電，從而盡量減小甚至避免了環(huán)境溫度對(duì)射頻交流電的影響，提高了射頻交流電的采集精度，也提高了射頻電源的輸出電源的精度，減少了射頻電源的輸出電源的調(diào)整時(shí)間。