一種基于射頻電源的阻抗調(diào)節(jié)方法及射頻電源系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910843137.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110473764A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-11-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110473764A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-11-19 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01J37/32（2006.01）I; H01J37/248（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 林偉群; 樂(lè)衛(wèi)平; 張桂東; 唐亞海; 林桂浩 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 深圳市百世達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 地址 | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道鐵崗社區(qū)桃花源智創(chuàng)小鎮(zhèn)功能配套區(qū)B棟101，201，301 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于射頻電源的阻抗調(diào)節(jié)方法，利用射頻電源的頻率對(duì)匹配箱中的匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗影響，具體地，射頻電源的頻率發(fā)生改變時(shí)，匹配網(wǎng)絡(luò)中的電容和電感的阻抗也會(huì)發(fā)生變化，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)匹配箱的阻抗的調(diào)整。此外，調(diào)節(jié)是否成功通過(guò)駐波比來(lái)進(jìn)行判斷，在駐波比小于預(yù)設(shè)匹配閾值時(shí)，則說(shuō)明此時(shí)等離子體腔室與匹配箱的阻抗之和與射頻電源的阻抗相等。射頻電源的頻率調(diào)節(jié)速度快于匹配箱的機(jī)械調(diào)節(jié)速度，滿足阻抗隨時(shí)變化的等離體子負(fù)載，提高了阻抗匹配的速度及精度。本發(fā)明還公開(kāi)了一種射頻電源系統(tǒng)，具有與上述阻抗調(diào)節(jié)方法相同的有益效果。 |
