一種射頻匹配網(wǎng)絡(luò)及射頻電源系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910843120.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110456136A 公開（公告）日 2019-11-15
申請公布號 CN110456136A 申請公布日 2019-11-15
分類號 G01R19/00;G01K7/02;G01K7/16 分類 測量；測試;
發(fā)明人 樂衛(wèi)平;張桂東 申請（專利權(quán)）人 深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市百世達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道鐵崗社區(qū)桃花源智創(chuàng)小鎮(zhèn)功能配套區(qū)B棟101，201，301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種射頻匹配網(wǎng)絡(luò)，在獲取L/C網(wǎng)絡(luò)輸出的射頻交流電時(shí)，充分考慮到環(huán)境溫度對信號采集的影響，恒溫采樣模塊會先對自身所處的環(huán)境溫度進(jìn)行調(diào)整，以將環(huán)境溫度調(diào)整至預(yù)設(shè)溫度范圍內(nèi)，然后采集L/C網(wǎng)絡(luò)輸出端的射頻交流電，以便后續(xù)第一處理器根據(jù)射頻交流電通過所述驅(qū)動電路對L/C網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行阻抗調(diào)整，實(shí)現(xiàn)L/C網(wǎng)絡(luò)及負(fù)載的網(wǎng)絡(luò)匹配。可見，由于恒溫采樣模塊實(shí)現(xiàn)的是恒溫采集，從而保證了自身靜態(tài)工作點(diǎn)的穩(wěn)定，使得采樣信號不會發(fā)生失真，提高了采樣信號的采樣精度及后續(xù)的阻抗匹配精度，提高了射頻電源系統(tǒng)的工作效率。本發(fā)明還公開了一種射頻電源系統(tǒng)，具有與上述射頻匹配網(wǎng)絡(luò)相同的優(yōu)點(diǎn)。