匹配箱的輸入端的阻抗調(diào)節(jié)方法、裝置及射頻電源系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010291595.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111417248A 公開（公告）日 2020-07-14
申請公布號 CN111417248A 申請公布日 2020-07-14
分類號 H05H1/46(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 樂衛(wèi)平;張桂東;林偉群;姚志毅 申請（專利權(quán)）人 深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司;深圳市百世達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道鐵崗社區(qū)桃花源智創(chuàng)小鎮(zhèn)功能配套區(qū)B棟101，201，301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種匹配箱的輸入端的阻抗匹配方法，該方案考慮到在匹配箱的輸入端的阻抗沒有達(dá)到目標(biāo)阻抗之前，匹配箱的輸入端的阻抗在調(diào)節(jié)過程中其相位角是發(fā)生變化的，且越靠近目標(biāo)阻抗，阻抗的相位角的數(shù)值越小，基于此，本申請將相位角引入阻抗匹配過程中，使得匹配過程中步長隨著相位角發(fā)生變化，實(shí)現(xiàn)當(dāng)前頻率遠(yuǎn)離最優(yōu)頻率時(shí)增大步長，當(dāng)前頻率在接近最優(yōu)頻率時(shí)減小步長，使得越靠近最優(yōu)頻率，頻率的變化率越小，提高了阻抗匹配的速度及精度。本發(fā)明還公開了一種匹配箱的輸入端的阻抗匹配裝置及射頻電源系統(tǒng)，具有與上述阻抗匹配方法相同的有益效果。??