匹配箱的阻抗調(diào)節(jié)方法、系統(tǒng)、裝置及射頻電源系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010290812.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111328175A 公開（公告）日 2020-06-23
申請公布號 CN111328175A 申請公布日 2020-06-23
分類號 H05H1/46(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 樂衛(wèi)平;張桂東;林偉群;姚志毅 申請（專利權(quán)）人 深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)有限公司;深圳市百世達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道鐵崗社區(qū)桃花源智創(chuàng)小鎮(zhèn)功能配套區(qū)B棟101，201，301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種匹配箱的阻抗調(diào)節(jié)方法、裝置、系統(tǒng)及射頻電源系統(tǒng)，根據(jù)相位電容及幅值電容的待調(diào)節(jié)極板的位置—容值—容值處阻抗的變化量的關(guān)系建立了補(bǔ)償步長增益關(guān)系式，從而使得相位電容/幅值電容的不同容值處對應(yīng)的補(bǔ)償步長增益是不同的，從而與調(diào)節(jié)因子配合調(diào)整阻抗的變化量，使得相位電容/幅值電容的不同容值處的阻抗的變化量基本相同，減小匹配誤差，降低匹配難度，提高匹配精度。此外，本申請中的第一補(bǔ)償步長增益還考慮到了幅值電容的影響，第二補(bǔ)償步長增益還考慮到了相位電容的影響，二者配合起來調(diào)節(jié)，進(jìn)一步提高了匹配速度及匹配精度。??