一種MEMS恒溫差熱膜式風速計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020219146.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211348306U 公開（公告）日 2020-08-25
申請公布號 CN211348306U 申請公布日 2020-08-25
分類號 G01P5/12(2006.01)I;G01K7/20(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 祁安俊;劉鈞;包坤;任海富 申請（專利權）人 華云升達（北京）氣象科技有限責任公司
代理機構 北京崇智專利代理事務所（普通合伙） 代理人 華云升達（北京）氣象科技有限責任公司
地址 102299北京市昌平區(qū)科技園振興路2號院1號樓1至8層101內4層401-415
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種MEMS恒溫差熱膜式風速計，包括：差分放大電路，具有加熱電阻Rj，加熱電阻Rj的阻值隨溫度變化而變化；恒溫差控制電路，與差分放大電路相連接，恒溫差控制電路具有兩個測溫電阻Rc1、Rc2，測溫電阻Rc1和測溫電阻Rc2對稱設置在加熱電阻Rj的兩端；采集電路，與恒溫差控制電路相連接，差分放大電路能夠將風速信號轉化為電壓信號；電源電路，分別與差分放大電路、恒溫差控制電路和采集電路相連接。在本實用新型的技術方案中，由于采用了MEMS工藝制造熱膜及溫度補償部分，可以很好的保證了這三種電阻的溫度敏感性一致，且其內部加入了一些絕緣薄膜，使得加熱電阻上的熱量流失較少，從而用較小的功率就能加熱到指定溫度點。??