阻抗匹配器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022920239.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214177278U 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN214177278U 申請公布日 2021-09-10
分類號 H03H11/28（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 魯力;沈愛國 申請（專利權(quán)）人 武漢凡谷電子技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 秦曼妮
地址 430020湖北省武漢市江夏區(qū)光谷大道藏龍島九鳳街5號凡谷電子工業(yè)園4號樓2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種阻抗匹配器，所述阻抗匹配器通過傳輸線連接在射頻信號源與等離子腔室之間，該阻抗匹配器包括幅度差和相位差采樣單元、數(shù)據(jù)處理單元、電機驅(qū)動及反饋單元以及阻抗匹配執(zhí)行單元；幅度差和相位差采樣單元用于對射頻信號源輸入信號的電壓與電流的相位差及幅度差進行采樣；數(shù)據(jù)處理單元用于根據(jù)采樣信號生成驅(qū)動控制信號；電機驅(qū)動及反饋單元包括電機驅(qū)動板，阻抗匹配執(zhí)行單元包括電機和阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，電機驅(qū)動板與電機連接，電機驅(qū)動板用于根據(jù)驅(qū)動控制信號生成電機驅(qū)動信號并發(fā)送給電機，電機用于調(diào)整阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，實現(xiàn)等離子腔室與傳輸線的阻抗匹配。本實用新型降低了采樣電路的復(fù)雜性，降低了插入損耗，采樣速度更快。