一種晶棒數(shù)控一體式滾圓機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202220456256.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216967194U 公開（公告）日 2022-07-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN216967194U 申請(qǐng)公布日 2022-07-15
分類號(hào) B24B5/04（2006.01）I;B24B5/50（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B55/04（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王潔;奚衍罡;張宇;楊青 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南通罡豐科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 226000江蘇省南通市高新區(qū)金橋西路一號(hào)聚恒工業(yè)園12號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及晶圓片加工技術(shù)領(lǐng)域，一種晶棒數(shù)控一體式滾圓機(jī)，包括工作臺(tái)、頭架、尾架和砂輪機(jī)構(gòu)，頭架和尾架安裝在工作臺(tái)的頂面，砂輪機(jī)構(gòu)安裝在工作臺(tái)的背板上，且工作臺(tái)上滑動(dòng)安裝有防護(hù)罩；頭架內(nèi)安裝減速電機(jī)，其中減速電機(jī)的輸出軸上套裝有晶棒主動(dòng)固定架，尾架上安裝有對(duì)應(yīng)的液壓伸縮桿，且液壓伸縮桿遠(yuǎn)離尾架的一端設(shè)有與頭架對(duì)應(yīng)的晶棒從動(dòng)固定架；頭架和尾架的底面上開設(shè)有安裝槽，其中安裝槽內(nèi)安裝有驅(qū)動(dòng)輪和控制電箱。本申請(qǐng)降低了晶棒加工過程的污染以及提高了其安全性能。