一種帶有集塵裝置的碳化硅雙面拋光機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220394740.8 申請日 -
公開（公告）號 CN216967383U 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN216967383U 申請公布日 2022-07-15
分類號 B24B29/02（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B47/00（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B55/12（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 楊青 申請（專利權(quán)）人 南通罡豐科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 226000江蘇省南通市高新區(qū)金橋西路一號聚恒工業(yè)園12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及碳化硅晶片加工技術(shù)領(lǐng)域，一種帶有集塵裝置的碳化硅雙面拋光機，包括底座、承載臺、安裝架和限位組件，承載臺安裝在底座上，安裝架安裝在承載臺上，且安裝架上安裝有對稱分布的打磨組件，打磨組件包括支撐架，支撐架上安裝有電機，其中電機的輸出軸端部安裝有爪型夾持機構(gòu)，爪型夾持機構(gòu)中安裝有拋光頭；限位組件圓周分布在拋光頭的四周，包括抵接塊、伸縮機構(gòu)和集塵機構(gòu)，其中伸縮機構(gòu)的一端固定在安裝架上，另一端與抵接塊轉(zhuǎn)動連接，集塵機構(gòu)包括設(shè)置在抵接塊端面的集塵口、集塵箱以及連接集塵口和集塵箱的集塵管道，集塵箱中安裝有負壓裝置。本申請能夠有效去除拋光過程中產(chǎn)生的粉塵碎屑，提高后續(xù)碳化硅晶片的拋光質(zhì)量。