一種平面大位移壓電微振動臺
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011398942.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112577684A | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請公布號 | CN112577684A | 申請公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號 | G01M7/02(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 秦風(fēng) | 申請（專利權(quán)）人 | 成都度控科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都聚蓉眾享知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張輝 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新區(qū)合作路89號9幢1單元20層2009號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種平面大位移壓電微振動臺，通過采用多段折疊、彎曲支撐梁結(jié)構(gòu)，解決了傳統(tǒng)直梁或兩段支撐梁振動臺平面內(nèi)位移小的問題，且微振動臺在平面內(nèi)位移可以達(dá)到百微米量級，同時還能夠?qū)崿F(xiàn)面內(nèi)旋轉(zhuǎn)位移。每根支撐梁經(jīng)過多次折疊、彎曲，形成類似彈簧結(jié)構(gòu)的支撐梁，有效降低支撐梁在平面內(nèi)的剛度，使微振動臺平面內(nèi)行程提升至數(shù)百微米量級。本發(fā)明由多根多段折疊式振動支撐梁配合形成，且基本的支撐梁結(jié)構(gòu)可具有多種形式，例如可以包含180°折疊型結(jié)構(gòu)和90°拐角型結(jié)構(gòu)。其中，180°折疊型結(jié)構(gòu)可以用于減小微振動臺剛度，從而提高平面內(nèi)位移；而90°拐角型結(jié)構(gòu)可以用于調(diào)整位移方向，約束非軸向位移，從而提高微振動臺工作時的線性度。?? |
