一種直線型壓電膜微驅(qū)動器
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011349260.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112769350A | 公開（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請公布號 | CN112769350A | 申請公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號 | H02N2/08(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;H02N2/06(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 秦風(fēng) | 申請（專利權(quán)）人 | 成都度控科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都聚蓉眾享知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張輝 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新區(qū)合作路89號9幢1單元20層2009號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種直線型壓電膜微驅(qū)動器，通過薄膜沉積工藝在基底正表面依次沉積下電極、壓電膜材料和上電極形成多層結(jié)構(gòu)；利用刻蝕工藝對多層結(jié)構(gòu)中的上電極、壓電膜材料層和下電極進(jìn)行光刻及圖形化，形成多根形狀、尺寸相同的條形驅(qū)動單元；每根條形驅(qū)動單元均具備上電極、壓電膜材料層和下電極；采用深刻蝕工藝對基底背部加深槽反應(yīng)離子刻蝕和/或濕法腐蝕，將基底的厚度減薄至預(yù)設(shè)厚度以下，制備出背部腔體以及形成驅(qū)動振膜，獲得直線型壓電膜微驅(qū)動器。本發(fā)明能有效降低器件整體厚度，可以與標(biāo)準(zhǔn)MEMS產(chǎn)線完全兼容，具備批量化生產(chǎn)能力，并且能解決壓電直線型電機(jī)的小型化、薄型化和批量化問題。?? |
