晶圓固定結構及切割裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120892973.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215094799U 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN215094799U 申請公布日 2021-12-10
分類號 B28D5/02（2006.01）I;B28D7/00（2006.01）I;B28D7/04（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 張興華 申請（專利權）人 深圳西斯特科技有限公司
代理機構 深圳中細軟知識產權代理有限公司 代理人 孫凱樂
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道寶運達物流中心綜合樓（二）4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型實施例公開了一種晶圓固定結構及切割裝置，該晶圓固定結構包括：固定膜；切割膜，具有第一粘性層，切割膜上背向第一粘性層的一端與固定膜固定連接；定位件，設置在切割膜上，能夠限制晶圓固定在第一粘性層上的位置。又通過設置切割裝置，切割裝置包括主體、劃片刀以及工作盤，晶圓固定結構能夠固定在工作盤上。通過上述設置，通過定位件能夠將晶圓準確地固定在切割膜上規(guī)定的切割區(qū)域內，將固定膜固定在工作盤上，利用劃片刀對晶圓進行切割，當切透晶圓后需要將晶圓分區(qū)時，利用切割裝置將晶圓分區(qū)，能夠提高效率且保證切割品質。固定膜位于切割膜與工作盤之間，能夠保證劃片刀不易過切至工作盤，進而保護工作盤不易受到損壞。