一種坩堝軸及晶體生長(zhǎng)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022625660.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214400805U 公開（公告）日 2021-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN214400805U 申請(qǐng)公布日 2021-10-15
分類號(hào) C30B35/00（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 邱萍;肖宏海;周勁松;周浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海森松新能源設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 201323上海市浦東新區(qū)祝橋鎮(zhèn)空港工業(yè)區(qū)金聞路29號(hào)-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料制備領(lǐng)域，公開了一種坩堝軸及晶體生長(zhǎng)設(shè)備，坩堝軸包括第一軸分段、第二軸分段和第三軸分段，第二軸分段與所述第三軸分段可拆卸連接，和/或，第一軸分段與第二軸分段可拆卸連接，第一軸分段用于連接坩堝，第二軸分段由隔熱材料制成。高溫長(zhǎng)晶爐工作的過(guò)程中，隔熱材料制成的第二軸分段會(huì)降低由第一軸分段通過(guò)第二軸分段傳遞至第三軸分段的溫度，同時(shí)減少第三軸分段對(duì)坩堝長(zhǎng)晶溫度分布的影響。在需要更換坩堝時(shí)，方便將第二軸分段與第一軸分段拆開或?qū)⒌诙S分段與第三軸分段拆開以更換坩堝，解決了因坩堝軸和坩堝材料不同造成高溫使坩堝軸和坩堝不便于拆卸的問(wèn)題。