一種硅片的導片系統

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110494654.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113394145A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN113394145A 申請公布日 2021-09-14
分類號 H01L21/677;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林佳繼;周歡;時祥 申請（專利權）人 拉普拉斯（無錫）半導體科技有限公司
代理機構 杭州天昊專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 董世博
地址 214192 江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)錫港路張涇東段209號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片的導片系統,包括輸送裝置、緩存裝置、儲存裝置、取片裝置和接片裝置，輸送裝置包括上料輸送機構和下料輸送機構，上料輸送機構將裝載未加工硅片的花籃輸送至緩存裝置，下料輸送機構對由緩存裝置輸入的空花籃或裝載已加工硅片的花籃進行輸送，輸送裝置、緩存裝置和儲存裝置對空載花籃或裝載硅片的花籃進行輸送，取片裝置用于硅片在儲存裝置和接片裝置間的傳輸，本發(fā)明實現了將未加工硅片從花籃輸送至接片裝置的自動上料工序以及將已加工硅片從接片裝置導入至花籃的自動下料工序，本發(fā)明采用上接片機構和下接片機構以及上接片機構和下接片機構協同運作使取片裝置始終處于導片狀態(tài)，最大限度提高導片工作效率。