一種硅片的導(dǎo)片系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110494654.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113394145A 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113394145A 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) H01L21/677;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林佳繼;周歡;時(shí)祥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 拉普拉斯（無錫）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州天昊專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 董世博
地址 214192 江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)錫港路張涇東段209號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片的導(dǎo)片系統(tǒng),包括輸送裝置、緩存裝置、儲(chǔ)存裝置、取片裝置和接片裝置，輸送裝置包括上料輸送機(jī)構(gòu)和下料輸送機(jī)構(gòu)，上料輸送機(jī)構(gòu)將裝載未加工硅片的花籃輸送至緩存裝置，下料輸送機(jī)構(gòu)對(duì)由緩存裝置輸入的空花籃或裝載已加工硅片的花籃進(jìn)行輸送，輸送裝置、緩存裝置和儲(chǔ)存裝置對(duì)空載花籃或裝載硅片的花籃進(jìn)行輸送，取片裝置用于硅片在儲(chǔ)存裝置和接片裝置間的傳輸，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了將未加工硅片從花籃輸送至接片裝置的自動(dòng)上料工序以及將已加工硅片從接片裝置導(dǎo)入至花籃的自動(dòng)下料工序，本發(fā)明采用上接片機(jī)構(gòu)和下接片機(jī)構(gòu)以及上接片機(jī)構(gòu)和下接片機(jī)構(gòu)協(xié)同運(yùn)作使取片裝置始終處于導(dǎo)片狀態(tài)，最大限度提高導(dǎo)片工作效率。