一種甩膠腔體結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022126686.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213792317U 公開(kāi)（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN213792317U 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) B05B12/36（2018.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 吳濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇長(zhǎng)電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 代理人 趙海波
地址 214400江蘇省無(wú)錫市江陰市江陰高新區(qū)長(zhǎng)山路78號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種甩膠腔體結(jié)構(gòu)，它包括腔體（1），所述腔體（1）內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)軸（2），所述轉(zhuǎn)軸（2）頂部設(shè)置有托盤(pán)（3），所述腔體（1）內(nèi)壁上均勻設(shè)置有多個(gè)擋板（4）。本實(shí)用新型一種甩膠腔體結(jié)構(gòu)，它能夠解決傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)腔體在甩膠過(guò)程中出現(xiàn)的因膠體反濺到晶圓邊緣導(dǎo)致膠層偏厚以及膠體顆粒殘留的問(wèn)題。