一種甩膠腔體結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022126686.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213792317U 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN213792317U 申請公布日 2021-07-27
分類號 B05B12/36（2018.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 吳濤 申請（專利權(quán)）人 江蘇長電科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京中濟緯天專利代理有限公司 代理人 趙海波
地址 214400江蘇省無錫市江陰市江陰高新區(qū)長山路78號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種甩膠腔體結(jié)構(gòu)，它包括腔體（1），所述腔體（1）內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)軸（2），所述轉(zhuǎn)軸（2）頂部設(shè)置有托盤（3），所述腔體（1）內(nèi)壁上均勻設(shè)置有多個擋板（4）。本實用新型一種甩膠腔體結(jié)構(gòu)，它能夠解決傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)腔體在甩膠過程中出現(xiàn)的因膠體反濺到晶圓邊緣導(dǎo)致膠層偏厚以及膠體顆粒殘留的問題。