用于劃片機(jī)θ轉(zhuǎn)軸調(diào)平裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022564268.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214237569U 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN214237569U 申請公布日 2021-09-21
分類號 B24B19/22（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B47/22（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李超;蔣興橋;韓華超;趙隕;馬巖;劉荒;李東旭;尹寧;曹正第;袁悅 申請（專利權(quán)）人 沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽亞泰專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郭元藝
地址 110043遼寧省沈陽市大東區(qū)北海街242號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬晶圓劃片機(jī)調(diào)平領(lǐng)域，尤其涉及一種用于劃片機(jī)θ轉(zhuǎn)軸調(diào)平裝置，包括滑板（1）；在所述滑板（1）四周分別垂直固定設(shè)有4個θ轉(zhuǎn)軸調(diào)平部件（2、3）；所述θ轉(zhuǎn)軸調(diào)平部件（2、3）上部設(shè)有θ轉(zhuǎn)軸基準(zhǔn)板（4）；所述θ轉(zhuǎn)軸基準(zhǔn)板（4）通過穿過調(diào)整地腳錨栓螺栓間隙孔（23）的內(nèi)六角圓柱頭螺柱（5）與滑板（1）固定相接；所述θ轉(zhuǎn)軸基準(zhǔn)板（4）之上固定設(shè)有DD馬達(dá)（6）；在所述DD馬達(dá)（6）動力輸出端固定設(shè)有轉(zhuǎn)動平臺（7）；在所述轉(zhuǎn)動平臺（7）之上設(shè)有負(fù)壓吸盤。本實用新型可實現(xiàn)調(diào)節(jié)負(fù)壓吸盤的水平度，顯著提升晶圓片的成品率和切割質(zhì)量。