一種圓晶加工用清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023074058.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214336683U 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN214336683U 申請公布日 2021-10-01
分類號 H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 廖紅偉;沈國平;劉洋博 申請（專利權）人 九江正啟微電子有限公司
代理機構 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 代理人 葉似錦
地址 332500江西省九江市湖口縣雙鐘鎮(zhèn)三里大道上埠路56號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種圓晶加工用清洗裝置，包括箱架，所述的箱架內部上端設有導柱，所述的導柱內壁設有導槽，所述的導槽連接有彈簧以及與彈簧連接的連接柱，所述的導柱設有限位片，所述的連接柱上設有與限位片配合使用的卡槽，所述的連接柱的端部設有清洗臺，所述的箱架底部中間設有支柱，所述的支柱上端設有電機以及通過電機帶動運轉的操作臺，所述的箱架底部設有廢液箱，所述的箱架內部兩側分別設有暖風噴口，所述的箱架底部設有與暖風噴口連接的暖風機，本實用新型與現(xiàn)有技術相比的優(yōu)點在于：防止清洗液濺射到設備以及周邊污染環(huán)境，無需在清洗圓晶后對清洗裝置進行清洗，較為方便，省去了單獨進行的干燥的流程，提高圓晶清洗的加工效率。