一種圓晶加工用烘干裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023069104.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN214120646U 公開(公告)日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN214120646U 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) F26B11/18(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I;F26B25/02(2006.01)I;F26B25/18(2006.01)I 分類 干燥;
發(fā)明人 廖紅偉;沈國平;劉洋博 申請(qǐng)(專利權(quán))人 九江正啟微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京盛凡智榮知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林燕
地址 332500江西省九江市湖口縣雙鐘鎮(zhèn)三里大道上埠路56號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種圓晶加工用烘干裝置,包括箱體,箱體上鉸接有側(cè)開門,箱體內(nèi)設(shè)有風(fēng)柱,風(fēng)柱的兩側(cè)均設(shè)有上下連接在一起的夾持裝置,風(fēng)柱的兩側(cè)均開有出風(fēng)口,箱體上端設(shè)有驅(qū)動(dòng)夾持裝置轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)以及和風(fēng)柱接通的暖風(fēng)機(jī),夾持裝置包括上下連接在一起的連接板,連接板的上端設(shè)有上夾板,下端開有導(dǎo)槽,導(dǎo)槽中滑動(dòng)設(shè)有導(dǎo)板,導(dǎo)板的下端和導(dǎo)槽底面之間設(shè)有彈簧,導(dǎo)板的一側(cè)設(shè)有和上夾板相配合的下夾板,上夾板和下夾板相對(duì)布置的面上均開有不少于一個(gè)和圓晶配合的放置槽。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于:無需人工翻轉(zhuǎn)圓晶進(jìn)行烘干,烘干速度較快、效率較高,同時(shí)在烘干的過程中被固定,放置較為穩(wěn)定,不容易損壞。