相向摩擦減阻力慣性壓電馬達(dá)及控制法和掃描探針顯微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510189463.1 申請日 -
公開（公告）號 CN104767421B 公開（公告）日 2017-07-07
申請公布號 CN104767421B 申請公布日 2017-07-07
分類號 H02N2/02;H02N2/06;G01Q70/02 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 陸輕鈾 申請（專利權(quán)）人 科學(xué)島合肥技術(shù)創(chuàng)新工程院有限公司
代理機構(gòu) 北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中科院（合肥）技術(shù)創(chuàng)新工程院有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)望江西路860號創(chuàng)新中心B座1409室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明相向摩擦減阻力慣性壓電馬達(dá)及控制法和掃描探針顯微鏡，包括驅(qū)動壓電體、滑桿、彈簧片，其特征是還包括副壓電體，所述彈簧片將滑桿的兩端與副壓電體形變的兩端彈性相壓，副壓電體或滑桿與驅(qū)動壓電體形變兩端的一端固定。馬達(dá)靜止時，滑桿受到的握持力是較大的靜摩擦力，馬達(dá)抗干擾能力強，穩(wěn)定性高；馬達(dá)行走時，副壓電體形變，副壓電體兩端和滑桿間的總摩擦阻力減小，這時驅(qū)動壓電體快速形變產(chǎn)生的慣性力就有很大一部分轉(zhuǎn)為輸出推力，馬達(dá)步進(jìn)有力。本發(fā)明保留了慣性壓電馬達(dá)結(jié)構(gòu)簡單，精度高，工作溫區(qū)大，加工精度要求低的優(yōu)點，但解決了其剛性低、緊湊性低，輸出推力小的缺點，適合于在低溫、超高真空、強磁場等極端條件下工作。