一種制備金屬鈀合金膜的化學共沉積方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910169510.0 申請日 -
公開（公告）號 CN102011109A 公開（公告）日 2011-04-13
申請公布號 CN102011109A 申請公布日 2011-04-13
分類號 C23C18/48(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐恒泳;曾高峰;史蕾;安德里斯·歌德巴赫 申請（專利權）人 大連華海制氫設備有限公司
代理機構 中科專利商標代理有限責任公司 代理人 周長興
地址 116023 遼寧省大連市中山路457號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種制備鈀合金膜的化學共沉積方法，是在化學鍍金屬鈀的過程中將摻雜金屬的絡合物溶液添加到金屬鈀的鍍液中，而不是在化學鍍之前混合。本發(fā)明通過控制共沉積鍍液中易于被優(yōu)先還原的金屬離子的濃度，從而實現(xiàn)鈀和摻入金屬同時且均勻地沉積的制備鈀合金膜。利用本方法能夠一次制備出致密且具有精確目標組成的鈀合金膜，有效降低合金膜制備的勞動強度，顯著地提高了鈀銀合金膜制備的成功率和重復率；該方法所得鈀合金膜能夠成數(shù)量級地減少高溫合金化時間，節(jié)省電能、高純氫和實驗時間，同時也將顯著延長合金膜的實際服役時間。