一種小規(guī)模生產(chǎn)超高純氫氣的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410742418.X 申請日 -
公開（公告）號 CN105731377A 公開（公告）日 2016-07-06
申請公布號 CN105731377A 申請公布日 2016-07-06
分類號 C01B3/50(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 徐恒泳;孟繁瓊;方傳艷;唐春華;林定標(biāo) 申請（專利權(quán)）人 大連華海制氫設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 馬馳
地址 116085遼寧省大連市高新技術(shù)園區(qū)黃浦路911號中科院大連高新技術(shù)轉(zhuǎn)化中心大廈602室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種小規(guī)模生產(chǎn)超高純氫氣的方法，采用高透氫選擇性的金屬鈀管氫氣純化器，將99.999％的高純氫氣提純成99.999999％的超高純氫，高純氫氣依次通過過濾器和換熱器后進(jìn)入金屬鈀管氫氣純化器，獲得純度大于99.999999％的超高純氫氣，其中雜質(zhì)含量小于5ppb，同時(shí)由于金屬鈀管的高氫氣透量，氫氣回收率大于90％，產(chǎn)品氣產(chǎn)量大于30m3/h。利用該方法生產(chǎn)的超高純氫氣可廣泛應(yīng)用于電子信息、半導(dǎo)體、LED、多晶硅光伏發(fā)電等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。