一種制備金屬鈀合金膜的化學(xué)共沉積方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910169510.0 申請日 -
公開（公告）號 CN102011109B 公開（公告）日 2012-08-22
申請公布號 CN102011109B 申請公布日 2012-08-22
分類號 C23C18/48(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐恒泳;曾高峰;史蕾;安德里斯·歌德巴赫 申請（專利權(quán)）人 大連華海制氫設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 周長興
地址 116023 遼寧省大連市中山路457號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種制備鈀合金膜的化學(xué)共沉積方法，是在化學(xué)鍍金屬鈀的過程中將摻雜金屬的絡(luò)合物溶液添加到金屬鈀的鍍液中，而不是在化學(xué)鍍之前混合。本發(fā)明通過控制共沉積鍍液中易于被優(yōu)先還原的金屬離子的濃度，從而實現(xiàn)鈀和摻入金屬同時且均勻地沉積的制備鈀合金膜。利用本方法能夠一次制備出致密且具有精確目標(biāo)組成的鈀合金膜，有效降低合金膜制備的勞動強(qiáng)度，顯著地提高了鈀銀合金膜制備的成功率和重復(fù)率；該方法所得鈀合金膜能夠成數(shù)量級地減少高溫合金化時間，節(jié)省電能、高純氫和實驗時間，同時也將顯著延長合金膜的實際服役時間。